En tant qu'équipement de base de l'industrie des circuits intégrés, certaines personnes appellent la machine de lithographie&"la machine la plus sophistiquée et la plus compliquée pour l'humanité GG". En tant qu'équipement le plus important dans la fabrication de puces, la machine de lithographie est également connue sous le nom de"machine d'exposition" comme équipement de base pour la fabrication de puces. une. La machine de lithographie est un dispositif qui utilise un laser excimer à longueur d'onde ultraviolette pour retirer le film protecteur sur la surface de la plaquette à travers un gabarit, puis trempe la plaquette dans un agent corrosif. La partie qui perd le film protecteur est gravée pour former un circuit.
La machine de lithographie couramment utilisée est la lithographie d'alignement de masque, et le processus général de lithographie implique le nettoyage et le séchage de la surface de la plaquette de silicium, du revêtement inférieur, de la résine photosensible de revêtement par centrifugation, de la cuisson douce, de l'exposition de l'alignement, de la post-cuisson, du développement, de la cuisson dure, de la gravure et d'autres processus. La qualité de la machine de lithographie détermine directement le niveau de puces de processus pouvant être fabriquées, ce qui montre son importance.
Et cette année, Apple, Samsung et Huawei se préparent à développer de nouvelles puces de téléphonie mobile en 5 nm. Maintenant, qu'il s'agisse de la puce Apple's A14, de la puce Snapdragon 888 de Qualcomm' ou de Samsung Exynos 1080, Kirin 9000, etc., tous représentent le plus haut niveau de puces 5 nm de l'industrie GG. Dans le domaine de la 5G et du mobile, on constate que divers constructeurs se préparent. Les puces 5 nm semblent atteindre leurs limites, mais à l'avenir, les puces continueront de s'améliorer et de se mettre à niveau, et des avancées technologiques encore plus importantes sont encore inconnues, et la machine de lithographie doit jouer un rôle. Rôle indispensable et important.
En effet, en plus de la production de puces, l'un des équipements de précision les plus complexes au monde, il existe également la lithographie pour l'emballage ou la lithographie par projection pour la fabrication de LED. À l'heure actuelle, les machines de lithographie haut de gamme&de mon pays sont essentiellement importées des Pays-Bas ASML. En fait, peu importe la fabrication ou la conception de puces haut de gamme, le service à guichet unique de conception et de fabrication de puces a été monopolisé par les pays occidentaux. Ces industries dans mon pays sont actuellement contrôlées par d'autres.
Modèle global de machine de lithographie
À l'heure actuelle, les principaux fabricants de machines de lithographie mondiales sont : ASML, Nikon, Canon, Otech, Shanghai Microelectronics Equipment, SUSS, ABM, Inc. Les machines de lithographie par projection haut de gamme peuvent être divisées en deux types : la projection par étapes et la lithographie par projection à balayage Machines. La résolution est généralement comprise entre sept nanomètres et plusieurs micromètres. Les machines de lithographie haut de gamme sont connues comme les instruments les plus précis au monde. Il existe 1,2 Une machine de lithographie d'une valeur d'un milliard de dollars.
La machine de lithographie haut de gamme peut être qualifiée de fleur de l'industrie optique moderne, et sa fabrication est si difficile que seules quelques entreprises dans le monde peuvent la fabriquer. Il s'agit principalement des trois grandes marques de marques étrangères : ASML des Pays-Bas, Nikon du Japon et Canon du Japon.
Avant cela, le président d'ASML, le premier fabricant mondial de machines de lithographie, a déclaré que même si les dessins étaient rendus publics, nous ne serions jamais en mesure d'imiter les meilleures machines de lithographie.
En fait, ASML détient une part de marché de 90% dans les produits similaires de&dans le monde et une part de marché de près de 100% en dessous du nœud 10 nm, monopolisant presque le noyau mondial de fabrication de puces haut de gamme. Et les bénéfices de leur entreprise&ont atteint 2 à 3 milliards d'euros ces dernières années. Les autres concurrents de la même industrie n'ont pratiquement pas réussi à rattraper leur retard, et même les États-Unis sont hors de portée.
Avec les sanctions et les interdictions de vente imposées par les États-Unis, la seule issue pour la machine de lithographie&de mon pays est la recherche et le développement indépendants. Bien qu'ASML puisse maintenir sa position de leader dans la technologie et le marché, avec les futurs développements technologiques, innovations technologiques et percées, ces écarts seront réduits plus rapidement.
À l'heure actuelle, les canaux nationaux de la chaîne d'approvisionnement en puces haut de gamme sont fortement limités par les pays étrangers. Comment passer à travers la puce haut de gamme R& D et la fabrication par le biais de la recherche et du développement indépendants est le plus gros problème à l'heure actuelle.